針對(duì)需要深入分析材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的研究,澤攸電鏡 展現(xiàn)出優(yōu)勢。其采用場發(fā)射電子槍,加速電壓范圍 10 - 30kV,電子束斑直徑可小至 1.5nm,為高分辨率成像提供保障。
該型號(hào)配備能量色散 X 射線譜儀(EDS),能對(duì)樣品微區(qū)進(jìn)行元素定性與定量分析,元素檢測范圍從 B 到 U。EDS 探測器分辨率優(yōu)于 133eV,在分析微小夾雜物的成分時(shí)表現(xiàn)出色。
鏡筒采用雙層水冷結(jié)構(gòu),避免電子光學(xué)系統(tǒng)因長時(shí)間工作產(chǎn)生的溫度漂移,保證成像穩(wěn)定性。真空系統(tǒng)極限真空可達(dá) 1×10??Pa,適合對(duì)真空度要求較高的樣品,如易揮發(fā)的有機(jī)材料。澤攸 深入材料內(nèi)部的探索者
參數(shù)方面,放大倍數(shù) 200 - 2,000,000 倍,樣品臺(tái)可實(shí)現(xiàn) ±30° 傾斜與 360° 旋轉(zhuǎn),便于觀察樣品的立體結(jié)構(gòu)。使用時(shí),通過軟件可聯(lián)動(dòng)控制電鏡與 EDS 系統(tǒng),一鍵完成成像與成分分析的切換。
在航空航天材料檢測中,可用于分析渦輪葉片的氧化層成分;在地質(zhì)研究中,能識(shí)別礦物顆粒中的微量元素分布,為多領(lǐng)域研究提供微觀結(jié)構(gòu)與成分的關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。澤攸 深入材料內(nèi)部的探索者
樣品臺(tái)采用高精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),移動(dòng)范圍為 X/Y ±5mm,Z 軸調(diào)節(jié)范圍 10mm,定位精度達(dá) 1μm,可實(shí)現(xiàn)樣品的精準(zhǔn)定位與多區(qū)域觀察。設(shè)備配備數(shù)字成像系統(tǒng),圖像采集速度達(dá) 15 幀 / 秒,支持實(shí)時(shí)觀察與快速存儲(chǔ)。
用材上,鏡筒內(nèi)部關(guān)鍵部件采用無氧銅材質(zhì),經(jīng)特殊工藝處理減少雜散磁場干擾;真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與分子泵組成,抽氣時(shí)間短,從大氣到工作真空(≤5×10??Pa)約需 8 分鐘。
使用說明中明確了操作步驟:開機(jī)預(yù)熱 30 分鐘后,加載樣品并抽真空,待真空達(dá)標(biāo)后設(shè)置加速電壓與放大倍數(shù),通過搖桿控制樣品臺(tái)移動(dòng)至觀察區(qū)域即可成像。適用于電子器件失效分析、生物樣品的超微結(jié)構(gòu)觀察等領(lǐng)域。