澤攸 臺(tái)階儀以穩(wěn)定的測(cè)量表現(xiàn),成為材料表面分析的實(shí)用工具。其核心測(cè)量系統(tǒng)采用高精度光柵尺,配合精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),為位移測(cè)量提供可靠基礎(chǔ)。澤攸 臺(tái)階儀:微觀形貌的忠實(shí)記錄者
該型號(hào)測(cè)量范圍為 0 - 100μm,垂直分辨率達(dá) 0.1nm,能捕捉微小的臺(tái)階高度差異。掃描長(zhǎng)度可在 10μm - 10mm 之間調(diào)節(jié),滿足不同尺寸樣品的測(cè)量需求。傳感器采用金剛石觸針,針尖半徑 5μm,測(cè)力范圍 2 - 20mg,減少對(duì)軟質(zhì)樣品表面的損傷。
設(shè)備機(jī)身選用鑄鐵材質(zhì),經(jīng)時(shí)效處理消除內(nèi)應(yīng)力,有效降低外界振動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響。操作面板設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,通過(guò)旋鈕與按鍵可快速設(shè)置測(cè)量參數(shù),配套軟件支持?jǐn)?shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示與后期分析,能生成臺(tái)階高度、粗糙度等參數(shù)報(bào)告。
使用時(shí),將樣品固定在工作臺(tái)上,調(diào)整觸針位置使其輕觸樣品表面,設(shè)置掃描速度(0.1 - 1mm/s)和掃描長(zhǎng)度后啟動(dòng)測(cè)量。適用于薄膜厚度檢測(cè)、涂層臺(tái)階分析等場(chǎng)景,如半導(dǎo)體晶圓的鍍膜厚度測(cè)量,為生產(chǎn)質(zhì)量控制提供數(shù)據(jù)支持。澤攸 臺(tái)階儀:微觀形貌的忠實(shí)記錄者
澤攸 臺(tái)階儀在設(shè)計(jì)上注重?cái)U(kuò)大測(cè)量范圍的同時(shí)保持測(cè)量精度,其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用伺服電機(jī),運(yùn)行平穩(wěn),掃描過(guò)程中觸針測(cè)力波動(dòng)小。
測(cè)量范圍擴(kuò)展至 0 - 200μm,垂直分辨率 0.05nm,水平分辨率 10nm,能應(yīng)對(duì)更深的臺(tái)階與更細(xì)微的表面特征。掃描長(zhǎng)度最大可達(dá) 50mm,適合較大尺寸樣品的整體測(cè)量,如 PCB 板的線路臺(tái)階檢測(cè)。