澤攸 ST800 臺(tái)階儀集成了接觸式與非接觸式測(cè)量功能,通過(guò)智能化控制系統(tǒng),為復(fù)雜樣品的測(cè)量提供全面解決方案。澤攸 集成化的臺(tái)階測(cè)量方案
接觸式測(cè)量范圍 0 - 800μm,垂直分辨率 0.05nm;非接觸式光學(xué)傳感器采用白光干涉原理,測(cè)量范圍 0 - 100μm,垂直分辨率 0.1nm,兩種模式可無(wú)縫切換,兼顧深臺(tái)階與精細(xì)表面的測(cè)量需求。
設(shè)備工作臺(tái)采用氣浮設(shè)計(jì),運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)無(wú)摩擦,X/Y 行程 200mm,定位精度 5μm,支持自動(dòng)樣品定位與多點(diǎn)測(cè)量。軟件具備圖像拼接功能,可將多個(gè)測(cè)量區(qū)域的形貌圖拼接成完整的樣品表面形貌,便于整體分析。
用材上,關(guān)鍵部件如導(dǎo)軌、絲杠等選用進(jìn)口高精度產(chǎn)品,確保設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。使用說(shuō)明中詳細(xì)介紹了自動(dòng)測(cè)量流程:通過(guò)相機(jī)定位樣品特征,軟件規(guī)劃測(cè)量路徑,自動(dòng)完成多個(gè)點(diǎn)的測(cè)量并生成綜合報(bào)告。適用于精密儀器制造中的表面質(zhì)量檢測(cè)、高??蒲兄械牟牧媳碚鞯葓?chǎng)景,為用戶提供高效、全面的測(cè)量支持。澤攸 集成化的臺(tái)階測(cè)量方案
使用時(shí),將樣品固定在工作臺(tái)上,調(diào)整觸針位置使其輕觸樣品表面,設(shè)置掃描速度(0.1 - 1mm/s)和掃描長(zhǎng)度后啟動(dòng)測(cè)量。適用于薄膜厚度檢測(cè)、涂層臺(tái)階分析等場(chǎng)景,如半導(dǎo)體晶圓的鍍膜厚度測(cè)量,為生產(chǎn)質(zhì)量控制提供數(shù)據(jù)支持。