澤攸電鏡作為一款基礎(chǔ)型掃描電鏡,在材料表面觀察領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。其核心電子光學(xué)系統(tǒng)采用高品質(zhì)磁透鏡,通過多層線圈纏繞技術(shù),形成均勻的磁場分布,為電子束的聚焦提供穩(wěn)定條件。鏡筒采用無氧銅材質(zhì),經(jīng)精密加工后內(nèi)壁光潔度達(dá) Ra0.02μm,減少電子在傳輸過程中的散射,保障成像質(zhì)量。設(shè)備整體外殼采用冷軋鋼板沖壓成型,表面經(jīng)磷化處理后噴涂防靜電粉末涂層,厚度達(dá) 80μm,既具備良好的防腐性能,又能有效屏蔽外界電磁干擾。
該型號加速電壓可在 5kV-30kV 范圍內(nèi)連續(xù)調(diào)節(jié),步長 1kV,束流范圍 1pA-20nA,能根據(jù)不同樣品特性靈活設(shè)置參數(shù)。二次電子像分辨率在 30kV 時(shí)可達(dá) 5nm,背散射電子像分辨率為 8nm,足以滿足多數(shù)工業(yè)質(zhì)檢與基礎(chǔ)科研的需求。放大倍數(shù)覆蓋 200 倍 - 1000000 倍,從樣品的整體形貌到細(xì)微結(jié)構(gòu)都能清晰呈現(xiàn)。在低倍觀察時(shí),視場直徑最大可達(dá) 10mm,便于快速定位樣品特征區(qū)域;高倍觀察時(shí),最小視場直徑僅 1μm,可聚焦于納米級細(xì)節(jié)。
樣品室尺寸為 φ150mm×120mm,可容納最大直徑 50mm、高度 30mm 的樣品,配備五軸樣品臺,移動范圍 X/Y±5mm,定位精度 5μm;Z 軸 5mm,調(diào)節(jié)精度 0.1μm;傾斜角度 - 5° 至 45°,旋轉(zhuǎn) 360°,方便從不同角度觀察樣品。樣品臺采用不銹鋼材質(zhì),表面經(jīng)硬化處理,硬度達(dá) HRC50,可承受 500g 重量的樣品。設(shè)備機(jī)身采用鑄鐵底座,重量達(dá) 80kg,有效降低外界振動影響,底座底部裝有 4 個(gè)可調(diào)節(jié)減震腳墊,能在 0-10mm 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)高度,保證設(shè)備水平放置。
使用時(shí),需優(yōu)良行開機(jī)預(yù)熱,預(yù)熱時(shí)間約 20 分鐘,待真空系統(tǒng)達(dá)到工作真空(≤1×10?3Pa)后,將樣品用導(dǎo)電膠固定在樣品臺上,通過軟件設(shè)置加速電壓、束流等參數(shù),操控樣品臺移動至觀察區(qū)域即可開始成像。配套的圖像處理軟件支持亮度對比度調(diào)節(jié)、尺寸測量(精度 ±1%)、圖像拼接(拼接精度 ±2μm)等功能,能生成包含測量數(shù)據(jù)的 PDF 格式分析報(bào)告。軟件還具備用戶管理功能,可設(shè)置 3 級操作權(quán)限,滿足不同用戶的使用需求。
在實(shí)際應(yīng)用中,可用于觀察金屬材料的斷口形貌,分析斷裂機(jī)制;檢測電子元件的焊接質(zhì)量,識別虛焊、漏焊等缺陷,最小可識別 5μm 的焊盤缺口;觀察生物樣品的表面結(jié)構(gòu),為醫(yī)學(xué)研究提供微觀依據(jù)。某汽車零部件企業(yè)使用該設(shè)備檢測發(fā)動機(jī)氣門的磨損表面,通過觀察磨痕形態(tài)與分布,優(yōu)化了潤滑系統(tǒng)參數(shù),使氣門使用壽命延長 15%。其穩(wěn)定的性能與簡便的操作,使其成為高校實(shí)驗(yàn)室、企業(yè)質(zhì)檢部門的實(shí)用選擇。