澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的長(zhǎng)期性能穩(wěn)定，依賴于定期維護(hù)。ZEM20的維護(hù)重點(diǎn)集中在真空系統(tǒng)、探測(cè)器及環(huán)境控制

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-10-13

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：21

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析

澤攸澤攸臺(tái)式掃描電鏡澤攸臺(tái)階儀澤攸探針臺(tái)及低溫系統(tǒng) 澤攸TEM原位方案(樣品桿) 澤攸SEM原位解決方案

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澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空

ZEM20 采用 6061?T6 鋁合金真空腔，表面經(jīng) 35?µm 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化處理，放氣率僅 4.5?×?10???Pa·L·s?1·cm?2，能夠在 3?×?10???Pa 真空下穩(wěn)定工作。抽氣系統(tǒng)由 30?L/min 隔膜泵 + 70?L/s 渦輪分子泵組成，抽真空循環(huán)時(shí)間約 3?min。

電子槍：CeB? 單晶燈絲，壽命約 1500?h，燈絲壽命監(jiān)控實(shí)時(shí)顯示。
磁透鏡：三級(jí)磁透鏡（聚光、物鏡、掃描），采用 1J79 坡莫合金磁屏蔽筒（μr?>?40?000），像散校正通過(guò) 8?級(jí)掃描線圈實(shí)現(xiàn)。
探測(cè)器：二次電子（SE）與背散射電子（BSE）雙通道，可同步顯示并拍攝混合圖像。
樣品臺(tái)：5?軸中心馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X/Y 行程 ≥?110?mm，Z 行程 1.5–40?mm，旋轉(zhuǎn) 360°，傾斜 -5°~70°，配備自動(dòng)對(duì)中、自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)亮度對(duì)比度（ABCC）功能。

核心參數(shù)

項(xiàng)目	規(guī)格
真空腔材質(zhì)	6061?T6 鋁合金（硬質(zhì)陽(yáng)極氧化）
極限真空	3?×?10???Pa
抽氣系統(tǒng)	隔膜泵 30?L/min + 渦輪泵 70?L/s
電子槍	CeB? 單晶燈絲
加速電壓	0.5?–?30?kV（0.01?V 步進(jìn)）
工作距離	0.1?–?50?mm
探測(cè)器	SE?+?BSE
樣品臺(tái)行程	X/Y?≥?110?mm，Z?1.5?40?mm